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硅谐振式压力微光电开关传感器
 
更新时间:2014.11.16 浏览次数:
 

  谐振式压力微光电开关传感器利用压力变化来改变揩振器的揩振频率,从而通过测量频率变化来间接测量压力,其中谐振器一微谐振酒仙桥的激励大多采用热激历或静电激励方式。

  振动的激励方式可采用静电激励或电热激励,拾振用压阻,整个压力敏感无件由单晶硅压力膜和单晶硅梁揩振器组成。二者通过硅一硅键合成一个整体,梁紧贴膜片,其间只留空隙,供梁振动,硅梁封装于真空或非真空之 中,硅膜另一边接待测压力源,膜四周与管座刚性连接,可近似为四边固支矩形膜,当压力作用于压力膜时,膜两侧存在压差,膜感受均布压力将发生变形,膜内产生应力,与膜紧贴的梁会感觉轴向应力以及外加压力三者之间有很好的线性关系,因此,通过检测梁的固有揩振频率,可达到检测压力的目的。

  这种谐振梁一敏感膜片分体结构的压力微传感器的制作需要用到关键技术包括包括双面光刻技术,腐蚀技术生长厚约10um的富硅氮化硅技术,多孔硅牺牲层技术以及硅一硅键合技术,其以低应力厚氮化硅双端固支梁作为谐振器。

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